Description: Semitool SST C421 / 280
(Semitool SST )
¿ Cabinet: Stainless Steel, Thru-the-Wall, Class 1
¿ Footprint: 39¿ W x 65¿ L x 66¿ H
¿ 280 Bowl (accommodates 8¿ substrate-low profile)
¿ Encapsulated Ferrofluidic drive seal
¿ Kalrez bowl seal
¿ N2 purged dedicated chemical and DI water spray manifolds
¿ Dedicated TFE N2 dry manifold
¿ 302 graphic color controller
¿ Process variable control of RPM
¿ Heated chemical temperature
¿ Programmable time intervals
¿ Programmable au
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